كاشف مطياف الكتلة فراغ تجويف المعالجة السطحية طلاء النيكل الأنود
يحتاج تصميم غرفة الفراغ إلى مراعاة العديد من العوامل، مثل الختم، والقوة، والاستقرار الحراري ضد ماس كهربائى، وخشونة السطح، والنظافة الداخلية. وهي تختلف في الشكل والحجم، اعتمادًا على متطلبات التطبيق المحددة، ويمكن أن تكون أسطوانية أو مربعة أو أشكال خاصة أخرى.
على سطح الغرفة، قد يكون هناك واجهات ومنافذ مختلفة لتوصيل مضخات التفريغ، وأدوات القياس، والأنابيب، وغيرها من المعدات ذات الصلة